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发明名称 Patterning method in the manufacture of miniaturized devices
摘要
申请公布号 US4897361(A) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 US19870132757 申请日期 1987.12.14
申请人 AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH COMPANY, AT&T BELL LABORATORIES 发明人 HARRIOTT, LLOYD R.;PANISH, MORTON B.;TEMKIN, HENRYK
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/308 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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