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发明名称 METHOD FOR ETCHING SIO2 FILM
摘要
申请公布号 JPH0228323(A) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 JP19880147123 申请日期 1988.06.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NARA YASUO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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