| 发明名称 |
METHOD OF JUDGING DIRECTION OF MESA OF INP SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0228345(A) |
申请公布日期 |
1990.01.30 |
| 申请号 |
JP19880178829 |
申请日期 |
1988.07.18 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
TANI TAKEHIKO;INADA TOMOKI;SASAKI YUKIO |
| 分类号 |
G01N21/91;H01L21/306;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/91 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
