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发明名称 DEVICE FOR INSPECTING THE FLAWS OF POLISHED SURFACE
摘要
申请公布号 SU1448876(A1) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 SU19864100249 申请日期 1986.08.04
申请人 INST POLUPROVODNIKOV 发明人 NESTERENKO B.A.,SU;SNITKO O.V.,SU;STERLIGOV V.A.,SU;SUBBOTA YU.V.,SU;SHIRSHOV YU.M.,SU
分类号 G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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