发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0227770(A) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 JP19880177913 申请日期 1988.07.15
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KIMURA SHOICHI
分类号 H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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