发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH0226021(A) 申请公布日期 1990.01.29
申请号 JP19880175981 申请日期 1988.07.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UEDA SEIJI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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