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发明名称 SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH0226031(A) 申请公布日期 1990.01.29
申请号 JP19880176089 申请日期 1988.07.14
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 SUZUKI OSAMU;KURIHARA SEIJI;ARAKI TAKASHI;KUSAKA HITOSHI;TAKAHASHI SHOICHI
分类号 H01L21/322;C30B15/00;C30B15/10 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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