METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY,申请号JP19880174992-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	JPH0226015(A)	申请公布日期	1990.01.29
申请号	JP19880174992	申请日期	1988.07.15
申请人	TOSHIBA MACH CO LTD	发明人	GOTO TAISAN;KATAYAMA MITSUNOBU
分类号	H01L21/027;H01L21/30	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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