| 发明名称 |
METHOD FOR FILLING MICROPORE WITH METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0225568(A) |
申请公布日期 |
1990.01.29 |
| 申请号 |
JP19880175003 |
申请日期 |
1988.07.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHITANI EISUKE;TSUJIKU SUSUMU;KOBAYASHI HIDE;MAEHARA MASAAKI;ANZAI NORIO |
| 分类号 |
C23C16/14;H01L21/28;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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