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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0224943(A) 申请公布日期 1990.01.26
申请号 JP19880176162 申请日期 1988.07.14
申请人 TERU BARIAN KK 发明人 TAKAZOE TOSHIHIKO
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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