| 发明名称 |
APPAREIL POUR TRAITEMENTS THERMIQUES DE PIECES MINCES, TELLES QUE DES PLAQUETTES DE SILICIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2594529(B1) |
申请公布日期 |
1990.01.26 |
| 申请号 |
FR19860002239 |
申请日期 |
1986.02.19 |
| 申请人 |
BERTIN ET CIE |
发明人 |
MARCEL AUGUSTIN JOSEPH JANNOT ET JEAN-PIERRE PATUREAU;PATUREAU JEAN-PIERRE |
| 分类号 |
H01L21/26;C21D1/34;C23C16/48;C30B33/00;F27B17/00;H01L21/00;H05B3/00;(IPC1-7):F27B17/00;F27D5/00;F27D9/00;F27D11/00;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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