发明名称 PRODUCTION OF THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPH0222470(A) 申请公布日期 1990.01.25
申请号 JP19880171252 申请日期 1988.07.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINTAKU HIDENOBU;SUZUKI SHIGEO;YAMAMOTO YOSHIAKI;ANDO TOMOAKI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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