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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0222857(A) 申请公布日期 1990.01.25
申请号 JP19880173220 申请日期 1988.07.11
申请人 NEC CORP 发明人 NOGUCHI YASUO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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