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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM FERTIGEN VON PIEZOKERAMISCHEN MEMBRANEN.
摘要
申请公布号 DE3667628(D1) 申请公布日期 1990.01.25
申请号 DE19863667628 申请日期 1986.08.11
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 DLUGOSCH, DIETER, D-8807 HEILSBRONN, DE
分类号 B28B3/00;B28B3/08;B28B7/38;B28B13/02;H01L41/22;(IPC1-7):B28B3/08 主分类号 B28B3/00
代理机构 代理人
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