| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0222106(A) |
申请公布日期 |
1990.01.25 |
| 申请号 |
JP19880172255 |
申请日期 |
1988.07.11 |
| 申请人 |
MATSUMOTO SEIYAKU KOGYO KK |
发明人 |
SUZUKI HIROSHI;SETSUDA KISUKE;SUGIYAMA IWAKICHI |
| 分类号 |
C01B13/34;C01B33/12;C01G23/053;C23C16/40;C23C16/448 |
主分类号 |
C01B13/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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