发明名称 PRODUCTION OF THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPH0223526(A) 申请公布日期 1990.01.25
申请号 JP19880172135 申请日期 1988.07.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMA KIYOKAZU;SUGITA RYUJI;HONDA KAZUYOSHI
分类号 C23C14/20;C23C14/56;G11B5/85 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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