Pressure transducer and its manufacturing process.

摘要

Der Drucksensor enthält einen Grundkörper und eine Membran, die unter Bildung einer Kammer in einem definierten Abstand parallel zueinander zusammengefügt sind, wobei wenigstens eines der beiden zusammengefügten Teile aus Keramik, Glas, Metall oder einem einkristallinen Material besteht. In Abhängigkeit von dem auf den Drucksensor einwirkenden äußeren Druck ändert sich der Abstand zwischen diesen Teilen und damit die Kapazität zwischen zwei von diesen Teilen getragenen Elektroden. Der Grundkörper und die Membran sind durch ein zugleich als Abstandshalter dienendes Formteil aus Metall thermisch miteinander verbunden. Wenn wenigstens eines der beiden Teile aus Keramik, Glas, Metall oder einem einkristallinen Material besteht, können die beiden zusammengefügten Teile durch ein Formteil aus Aktivlot miteinander verlötet sein. Wenn die beiden zusammengefügten Teile aus Oxidkeramik oder Saphir bestehen, können sie nach dem "direct copper bonding"-Verfahren miteinander verbunden sein. In diesem Fall besteht das Formteil aus Kupfer, das durch eine sich an der Oberfläche ausbildende eutektische Schmelze mit den beiden Teilen verbunden ist.