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发明名称 SAMPLE FOR ADJUSTING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0221548(A) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 JP19880170342 申请日期 1988.07.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TAKENAKA HIROSHI
分类号 H01J37/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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