| 发明名称 |
DIFFERENTIAL PLANE MIRROR INTERFEROMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0239506(A3) |
申请公布日期 |
1990.01.24 |
| 申请号 |
EP19870400699 |
申请日期 |
1987.03.27 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
SOMMARGREN, GARY E.;YOUNG, PETER S. |
| 分类号 |
G01B11/14;G01B9/02;G01J9/04;(IPC1-7):G01J9/04 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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