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发明名称 AIR GAUGE DIFFUSER
摘要
申请公布号 EP0258794(A3) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 EP19870112345 申请日期 1987.08.25
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 BANTZ, GEORGE H.
分类号 G01B13/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01B13/00
代理机构 代理人
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