| 发明名称 |
PATTERN INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0246145(A3) |
申请公布日期 |
1990.01.24 |
| 申请号 |
EP19870401052 |
申请日期 |
1987.05.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
IWATA, SATOSHI;ANDO, MORITOSHI |
| 分类号 |
G01N21/956;G06T7/00;(IPC1-7):G01N21/88;G06K9/62;G01R31/28;G01B11/02 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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