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发明名称 POSITIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0220868(A) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 JP19880170230 申请日期 1988.07.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 KISHIMURA SHINJI;UOTANI SHIGEO;OCHIAI TAMEICHI;KINE CHIE
分类号 G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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