| 发明名称 |
DETECTION OF DEFECT FOR INSULATION FILM OF SILICON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0221254(A) |
申请公布日期 |
1990.01.24 |
| 申请号 |
JP19880171360 |
申请日期 |
1988.07.08 |
| 申请人 |
KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD |
发明人 |
MURAKAMI KATSUMI |
| 分类号 |
G01N21/91;G01N1/32;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/91 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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