发明名称 VACUUM APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0287118(A3) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 EP19880106059 申请日期 1988.04.15
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TAMURA, NAOYUKI;KANAI, NORIO
分类号 B01J3/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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