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发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0219850(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 JP19880169932 申请日期 1988.07.07
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KURIHARA KENJI;KINOSHITA HIROO;MIZOTA TSUTOMU;TAKEUCHI NOBUYUKI
分类号 G03F7/11;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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