| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON-GERMANIUM ALLOY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0219467(A) |
申请公布日期 |
1990.01.23 |
| 申请号 |
JP19880168836 |
申请日期 |
1988.07.08 |
| 申请人 |
KOMATSU DENSHI KINZOKU KK |
发明人 |
MARUTANI SHINJI;TAKAHASHI TORU;IZAWA JUNJI;YATSURUGI YOSHIFUMI |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/22;H01L21/205;H01L35/22;H01L35/34 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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