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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0218936(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 JP19880167672 申请日期 1988.07.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAMORI YUJI;KUNIHIRO TAKASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/322 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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