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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0219455(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 JP19880168475 申请日期 1988.07.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA MASAAKI;NANBA TAKANORI;YAGI SHIGENORI;KAWAGOE YASUYUKI;IMADA KATSUHIRO
分类号 H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/32;C30B23/08;C30B29/22;H01B13/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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