发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0218848(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 JP19880169629 申请日期 1988.07.06
申请人 JEOL LTD 发明人 SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J37/08;H01J37/147 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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