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发明名称 METHOD FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH0218384(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880168168 申请日期 1988.07.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO JUNJI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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