发明名称 DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH0218382(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880166547 申请日期 1988.07.04
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 ORAKU SATOSHI;TANAKA AKIKAZU
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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