发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0218379(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880167724 申请日期 1988.07.07
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 MATSUO HIDEYASU;SAITO MASAYUKI;SASAKI YASUSANE
分类号 C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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