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发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0217635(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880168421 申请日期 1988.07.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI ATSUMI;KISHIMURA SHINJI
分类号 H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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