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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0216755(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880165864 申请日期 1988.07.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSHINO KAZUHIRO
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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