发明名称 MANUFACTURE OF METAL SULFIDE SEMICONDUCTOR COMPOSITE FILM
摘要
申请公布号 JPH0216775(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880167058 申请日期 1988.07.05
申请人 HAYAKAWA SENI KOGYO KK 发明人 MIYAMA SO;YOKOYAMA HIDEKUNI;NOSAKA YOSHIO;FUJII NOBUYUKI;HAYAKAWA TOSHIO
分类号 H01L31/04;H01L21/208;H01L31/0264;H01L31/08 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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