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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0215634(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880165518 申请日期 1988.07.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OOKA AKIRA;YANAGIHARA FUMIO;SERIGANO MAKOTO;SUGAWARA HIROKI;OIKAWA MAKOTO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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