| 发明名称 |
METHOD OF LEVELLING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0215624(A) |
申请公布日期 |
1990.01.19 |
| 申请号 |
JP19890067760 |
申请日期 |
1989.03.22 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
PIITAA JIEI ZUDEBERU;DEBITSUDO ERUHAATO;IEFUIMU BAKUMAN |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
