发明名称 WIRING STRUCTURE FOR REPAIRING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND WIRING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0215657(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880165388 申请日期 1988.07.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI KATSUKI;NAGASE HACHIDAI;SASAKI TETSUO;NAGAO YOUSUKE
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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