| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT DE SILICIURES DE TUNGSTENE OU DE MOLYBDENE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2620736(B1) |
申请公布日期 |
1990.01.19 |
| 申请号 |
FR19870013092 |
申请日期 |
1987.09.17 |
| 申请人 |
ETAT FRANCAIS CNET;CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE |
发明人 |
YVES PAULEAU;PHILIPPE LAMI;JACQUES PELLETIER |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/42 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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