发明名称
摘要
申请公布号 JPH027652(U) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880086178U 申请日期 1988.06.29
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利