发明名称
摘要
申请公布号 JPH027556(U) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880086179U 申请日期 1988.06.29
申请人 发明人
分类号 G01N21/89;C23C2/00;C23C2/28;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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