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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITER-WAFERS
摘要
申请公布号 DE3922563(A1) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 DE19893922563 申请日期 1989.07.08
申请人 OSAKA TITANIUM CO. LTD., AMAGASAKI, HYOGO, JP;KYUSHU ELECTRONIC METAL CO., LTD., SAGA, JP 发明人 SAKATA, SUEO;NARITOMI, TOSHIO;OKA, YSUNORI, SAGA, JP
分类号 H01L21/304;H01L21/322 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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