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发明名称 PIEZOELEKTRISCHER VERSETZUNGSAPPARAT.
摘要
申请公布号 DE3380976(D1) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 DE19833380976 申请日期 1983.09.02
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SUDA, YOSHIYUKI, KOHOKU-KU YOKOHAMA-SHI, JP;YOKOYAMA, KATSUNORI, EBINA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TANUMA, CHIAKI, TOKYO, JP
分类号 G12B1/00;H01L41/083;H01L41/09;H02N2/00;H02N2/04;(IPC1-7):G12B1/00 主分类号 G12B1/00
代理机构 代理人
主权项
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