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发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0214517(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880162584 申请日期 1988.07.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAMURA TADAAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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