发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0214573(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880165624 申请日期 1988.06.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAN SEIKOU
分类号 H01L29/74;H01L21/66 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
地址