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发明名称
FORMATION OF TITANIUM CARBIDE FILM BY ION BEAM SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0215161(A)
申请公布日期
1990.01.18
申请号
JP19880165371
申请日期
1988.07.01
申请人
HITACHI KOKI CO LTD
发明人
MACHIDA OSAMU
分类号
C23C14/06
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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