发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0214540(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880164423 申请日期 1988.07.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IGARASHI TAKASHI;MORI HARUHISA;NAWATA TAKAHARU;YAMAGUCHI SEIICHIRO;SUZUKI WAN
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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