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发明名称
摘要
申请公布号 DE3204436(C2) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 DE19823204436 申请日期 1982.02.09
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 MEIDINGER, HANS, 8000 MUENCHEN, DE;WEY, ALFRED, 8156 OTTERFING, DE;FAERBER, HANS, 8000 MUENCHEN, DE
分类号 C30B31/10;C30B33/00;C30B35/00;H01L21/324 主分类号 C30B31/10
代理机构 代理人
主权项
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