发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0215267(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880165129 申请日期 1988.07.04
申请人 TOSOH CORP 发明人 TOTOKO MASAAKI;YAMAMOTO TAKASHI;NAGAOKA KEIKO;KIYOTA TORU
分类号 G03F7/012;G03F7/023 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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