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发明名称 PRODUCTION UNIT FOR SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0214898(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19880160798 申请日期 1988.06.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 ECHIZENYA KAZUHIKO
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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